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当前位置：深圳市科晶智达科技有限公司>>薄膜制备>>蒸发镀膜设备>> OTF-1200X-RTP-II 近距离蒸发镀膜（CSS）炉
| 技术参数 | ||
|---|---|---|
| 真空腔体 | ● 腔体为一高纯石英管 ● 尺寸： 11" OD x 10.8"ID x 9" H | |
| 真空法兰 | ● 真空法兰材质为316不锈钢制作 ● 顶部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口 ● 底部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口 ● 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封，通过真空度可达10-2 torr两个法兰都可以通过手动操作进行上下移动 ● 一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可精确测量腔体内真空度 （点击图片查看详细资料）   | |
| 混气系统 | 可以选择两路的混气系统于此款管式炉搭配使用（本公司生产多路浮子和多路质子混气系统）   | |
| 加热元件和载样台 | ● 由两组IR红外灯管进行加热 ● 额定功率800 W,总功率：1600W ● 为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷机构上 ● 一个3"的基片载样台安装腔体顶部 ● 紧贴顶部加热元件上安装有一氮化铝基片（3"Dia x0.5mm Thick ），使其仪器使用时样品基片上的温度 更加均匀 ● 3"的石墨坩埚可以放在底部加热元件上来盛装蒸发料   | |
| 热电偶 | 两个K型热电偶分别安装在上下法兰上 | |
| 温控系统 | ● 两个控温系统都为PID30段程序化控温 ● 可以选购PC控温软件，将温度程序设置和温度曲线导入电脑中   | |
| 工作温度 | ● 两个加热区域单独工作的MAX温度： ≤650ºC ● 两个加热区域大温差: ≤350 ºC | |
| 加热和冷却速率 | ● 加热速率: > 8 ºC /S ● 冷却速率: > 10 ºC /S ( 600 - 100oC) | |
| 电源 | 208 - 240VAC, 单相, （需20A的空气开关） | |
| 可选配件 | 本公司出售真空泵和水冷系统  | |
| 质保期 | 一年质保期 终身维护 (不包括炉管、密封圈和加热元件损耗件 ) | |
| 质量认证 | CE | |
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