当前位置:中美合资合肥科晶材料技术有限公司>>管式炉>>RTP>> 5英寸近距离蒸发镀膜炉(CSS)OTF-1200X-RTP-II-5
技术参数
炉体结构和真空腔体
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真空法兰 (点击图片查看详细资料) |
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加热元件和载样台 |
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温控系统 |
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工作温度 |
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加热和冷却速率 |
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热电偶 | 两个K型热电偶,安装在顶部和底部,都与氮化铝陶瓷片相接触 |
工作电压 | 208 - 240VAC, 单相,(需要20A的空气开关) |
功率 | 3000W |
可选 |
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质保 | 一年质保期,终生维护(不包括密封圈、加热元件和石英管) |
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