详细说明
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| D1430是线性空气轴承，提供线性运动在高真空环境中,适合半导体应用,如晶片离子注入(直径300毫米或12”)。高刚度、低流线性空气轴承主轴提供超光滑、低摩擦运动,没有污染的风险。主轴寿命长由于使用真空室之间的非接触式密封系统和轴的表面,与copper-free材料特定的离子注入过程。 线性行程长度508毫米或20”和空心轴直线运动期间可以同时旋转角的准确定位。空心轴提供路线真空能力、电力或冷却水通过轴紧凑的解决方案。线性滑动系列纺锤波与马达和驱动器可以打包,提供一个完整的解决方案。 |
| 特点： l 无油操作 l 超光滑无摩擦运动 l 360°旋转 l 79或700lbs l 在高真空环境中运作 l Copper-free材料 l 紧凑集成空心轴  |
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