激光干涉仪标准镜头是我司设计的系列产品，也可以根据客户需求提供特制的干涉仪镜头。光学干涉测量是利用标准镜面与被测镜面的反射波前之间的干涉效应来定量测量光学件面形质量的一种高精度测量手段，因此标准球面镜的质量直接决定了测量的精度，采用高精度的标准球面作为标准就成为整个检验技术的关键。
产品特征 1、面形精度：λ/10，λ/20，λ/40；
2、F/#：f/0.75～f/11.1；
3、通光孔径：100mm；
4、标准4英寸干涉仪接口；
5、提供储存盒。
主要技术参数 | 激光干涉仪标准镜头 | ||||||
型号 | ZCIF-0045 | ZCIF-0122 | ZCIF-0297 | ZCIF-0483 | ZCIF-0675 | ZCIF-1080 |
入瞳直径 | 100mm | |||||
工作波长 | 632.8nm | |||||
标准面精度 | λ/10 ,λ/20 ,λ/40 | |||||
F/# | 0.75 | 1.5 | 3.3 | 5.1 | 7.1 | 11.1 |
数值孔径 | 0.557 | 0.316 | 0.152 | 0.097 | 0.071 | 0.046 |
孔径角(°) | 58.2 | 35.1 | 17.3 | 11.1 | 8.1 | 5.3 |
参考面半径( mm) | 48.75 | 127 | 303.4 | 500 | 682.26 | 1088.5 |
参考面有效口径( mm ) | 64.71 | 84.27 | 94.71 | 98.38 | 97.32 | 98.42 |
被检凸面半径( mm ) | 45 | 122 | 297 | 483 | 675 | 1080 |
外形尺寸( mmxmm) ( 直径x厚度) | 130x65 | 130x62 | 130x55 | 130x55 | 130x48 | 130x48 |
参考镜材料 | 熔石英 | |||||
单次通过波前变形 | < 1λ | |||||
参考面反射率 | 4% | |||||
操作温度 | 22°C+8°C | |||||
机械接口 | 干涉仪标准接口(可根据需要定做其它接口) | |||||
注：可以根据客户需求提供同类特制仪器和相关测试的解决方案。
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