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ABRS150MPAEROTECH空气轴承直驱旋转平台ABRS150MP
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访问次数:39更新时间:2022-02-22 22:39:37

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产品简介
产品介绍直接驱动,无槽,无刷伺服电机零齿槽电机,出色的速度稳定性出色的误差运动和摆动性能直联式高精度旋转编码器薄型平面设计没有机械接触Aerotech的ABRS系列旋转气浮载物台以超薄的外形提供了角度定位,速度稳定性和误差运动性能
产品介绍
产品介绍

直接驱动,无槽,无刷伺服电机

零齿槽电机,出色的速度稳定性

出色的误差运动和摆动性能

直联式高精度旋转编码器

薄型平面设计

没有机械接触

Aerotech的ABRS系列旋转气浮载物台以超薄的外形提供了角度定位,速度稳定性和误差运动性能。ABRS旨在满足晶圆检查,高精度计量,X射线衍射系统,光学检查和制造以及MEMS /纳米技术设备制造的严格要求。

紧凑包装

ABRS系列直接驱动旋转平台的设计已经过优化,可大程度地减少平台高度。平台的低矮外形降低了系统的有效工作高度,从而减少了与“堆积”有关的错误。除了较低的总高度外,ABRS系列还提供了一个通孔,可用于产品直通,激光束传输,电缆间隙或特定应用的要求。

机械设计

ABRS设计具有大的空气轴承表面,具有很高的刚度和承载能力,不仅产生出色的轴向和径向误差运动,而且产生出色的倾斜误差运动。所产生的面误差运动明显优于其他旋转式空气轴承工作台和主轴,极大地受益于需要出色平面性能的应用。

无刷直驱

为了更好的定位性能,ABRS系列采用了Aerotech的S系列无槽无刷电机。电机采用磁路设计,可产生高扭矩输出,而产生的热量最少。无槽设计本质上是零齿槽和无转矩纹波。这使得ABRS位移台非常适合需要低速或高速扫描速度的应用。

准确定位

光学编码器是ABRS的标准配置。与Aerotech的反馈乘法器和控件配合使用时,分辨率可达到<0.03弧秒。

定制设计

定制版本的ABRS可用于费率表和惯性制导试验台应用。

产品参数

宽度:150 mm

桌面直径:128.1 mm

高度:80 mm

孔径:8 mm

总行程:360°连续

总线电压:80 VDC

基本编码器分辨率:3600行/转

转速:max.300 rpm

精度:±3角秒

双向重复性:<2弧秒

负荷

轴向:8 kg

径向:4 kg

倾斜:3 N-m

轴向误差运动(同步):<175 nm

径向误差运动(同步):<450 nm

倾斜误差运动(同步):<9.7 µrad(<2.0弧秒)

轴向误差运动(异步):<20 nm

径向误差运动(异步):<20 nm

倾斜误差运动(异步):<0.4 µrad(<0.08弧秒)

工作压力:80 psig(5.5 bar)+ 0 psig(0.0 bar)/-10 psig(0.7 bar)

空气消耗:<56.6 SLPM(<2 SCFM)

材料:铝

表面:硬涂层(62洛氏硬度)

惯性卸载:3850 kg-mm2

总质量:4.8公斤



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